光伏單晶爐氬氣凈化回收技術(shù),由中國(guó)科學(xué)院大連化學(xué)物理研究所催化基礎(chǔ)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室及太陽(yáng)能研究部中科院院士李燦領(lǐng)導(dǎo)的團(tuán)隊(duì)與大連連城數(shù)控機(jī)器股份有限公司合作研發(fā)。
光伏單晶爐氬氣凈化回收技術(shù),具有高活性、高穩(wěn)定性、可規(guī)?;奶攸c(diǎn)。在較溫和條件下,有效消除單晶爐氬氣尾氣中多種雜質(zhì),凈化后氬氣中各種雜質(zhì)濃度低于0.5 ppm,遠(yuǎn)優(yōu)于光伏晶硅生產(chǎn)過(guò)程的PV6-1110氬氣行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)(雜質(zhì)濃度<10 ppm)。在實(shí)際工況條件下能夠同時(shí)滿足至少4至6臺(tái)單晶爐氬氣尾氣凈化要求,將大幅度減少晶硅制造過(guò)程中高純氬氣的消耗量,幫助光伏企業(yè)克服氬氣供給波動(dòng)的影響。
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